一、日本 EKUSA EHS 型半導體用超純水在線加熱器 產品概述
本設備為日本 EKUSA 株式會社生產的 EHS 型氟樹脂制超純水在線加熱器，專為半導體行業超純水及腐蝕性藥液的連續在線加熱設計，采用全 PFA 接液結構，可避免金屬離子溶出污染流體，廣泛應用于晶圓清洗、光刻工藝、蝕刻液溫控等高純度工藝場景。
二、核心性能特點
高純度流體兼容，無金屬污染
接液部分全部采用 PFA 材質，無金屬部件接觸流體，可耐受超純水、等腐蝕性藥液，不會造成流體污染，滿足半導體行業的高純度工藝要求。
PID 精準控溫，流量適應性強
采用 PID 自動溫控系統，溫度精度可達 ±1℃，流量波動時溫控穩定性優異；低表面溫度加熱設計，避免流體局部過熱分解，保證流體品質穩定。
高可靠性工業設計，安全防護
常用最高壓力 0.4MPa、溫度 150℃，內置漏液傳感器、超溫保護、停電保護功能，停電重啟時溫度上升僅約 10℃，高溫工況也可安全運行；加熱器采用低溫設計，壽命接近半，無需頻繁更換。
易維護與遠程控制適配
緊湊型立式結構，占地面積小，安裝維護便捷；支持外部信號遠程控制，可接入自動化生產線，實現遠程溫控與監控。
三、技術參數
| 項目 | 參數說明 |
|---|---|
| 品牌 | EKUSA（エクサ，日本） |
| 產品類型 | 氟樹脂制超純水在線加熱器 |
| 型號系列 | EHS-1~EHS-6 |
| 功率范圍 | 25kW~150kW（AC200V 三相） |
| 最高流體溫度 | 90℃（標準）/150℃（高溫工況） |
| 控溫方式 | PID 自動控制 |
| 溫度精度 | ±1℃ |
| 常用壓力 | 0.4MPa |
| 接液材質 | PFA（可溶性聚四氟乙烯） |
| 外殼材質 | SUS304 不銹鋼 |
| 防護功能 | 漏液檢測、超溫保護、停電保護 |
| 安裝方式 | 在線管路式安裝 |
四、日本 EKUSA EHS 型半導體用超純水在線加熱器 適用場景
半導體 / 電子行業：晶圓清洗超純水加熱、光刻膠溶劑加熱、蝕刻液 / 清洗液溫控
精密電子制造：液晶面板、半導體封裝工藝中的高純度藥液加熱
化工行業：腐蝕性溶液、有機溶劑的無金屬污染加熱
工藝自動化：連續生產線中流體的在線加熱與溫控
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