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    KAGATECHNO石英在線加熱器:半導(dǎo)體藥液循環(huán)

    發(fā)布時(shí)間: 2026-02-06  點(diǎn)擊次數(shù): 161次
    1. 產(chǎn)品定位日本加賀テクノ(KAGATECHNO)石英在線加熱器,專為半導(dǎo)體濕法工藝中藥液循環(huán)加熱設(shè)計(jì),適用于氨水過氧化物(SC-1)、磷酸等腐蝕性藥液,應(yīng)用于氮化硅刻蝕及擴(kuò)散前清洗工序。
    2. 核心技術(shù)
    • Inconel網(wǎng)目發(fā)熱體:鎳鉻鐵合金直接熔接于石英筒外壁,耐腐蝕、抗空燒,解決傳統(tǒng)繞線加熱器斷線及氣囊積聚導(dǎo)致的局部過熱問題
    • 石英雙重管結(jié)構(gòu):內(nèi)管走藥液(零金屬污染),外管包裹發(fā)熱體,即使外管破損也不污染藥液
    • 阻燃FRPP外殼:內(nèi)置溫度監(jiān)測(cè),過熱自動(dòng)保護(hù)
    3. 關(guān)鍵參數(shù)
    指標(biāo)參數(shù)
    功率2.2/4.4/6.5kW
    電壓單相200V
    溫度室溫~160℃
    適用藥液SC-1、磷酸
    接頭3/4英寸石英法蘭
    4. 應(yīng)用價(jià)值直通式結(jié)構(gòu)無液滯留,在線串聯(lián)于循環(huán)回路實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫控。相比投浸式加熱器,支持不停機(jī)維護(hù),熱響應(yīng)更快,是RCA清洗及氮化硅刻蝕等關(guān)鍵工序的高可靠性加熱解決方案。


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