日本H黄肉动漫缘之空|福利传真自动更新|超诡异车祸现场惊爆眼球|成人啪啪一区二区三区|黄图男在上女在下|一本色道久久综合精品不卡|中文字幕乱偷在线

銷售熱線

13823147203

  • 技術文章ARTICLE

    您當前的位置：首頁 > 技術文章 > Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統的低溫固化技術突破

    Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統的低溫固化技術突破

    發布時間： 2026-02-06　　點擊次數： 263次
    產品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列，是專為半導體晶圓UV膠帶剝離工藝設計的桌面型UV-LED固化裝置。UVC-200對應8英寸晶圓，UVC-300對應12英寸晶圓，另提供全自動Cassette-to-Cassette機型（UVC-200A/300A）。
    2. 核心技術創新
    • 365nm單波長冷光源：采用水冷散熱高功率LED驅動，輸出250mW/cm2，消除傳統汞燈的紅外熱輻射，實現真正的常溫照射，保護熱敏晶圓
    • 往復掃描曝光：光源橫向掃描+晶圓旋轉，確保全區域光照均勻，避免局部欠固化
    • 低耗N?吹掃：內置自動氮氣置換，抑制氧氣阻聚，氣體消耗量比傳統系統降低30%
    3. 關鍵參數

    指標參數
    光源波長365nm
    照射強度250mW/cm2（距工件10mm）
    支持晶圓200mm/300mm
    冷卻方式水冷+風冷
    光源壽命>20,000小時
    手動型尺寸750×640×575mm
    4. 應用價值針對晶圓減薄/切割后的UV膠帶光降解工藝，實現芯片無損拾取、無殘膠剝離。相比2kW高壓汞燈，LED方案啟動瞬間完成、能耗降低60%以上、無汞環保、光源冷態可維護，是半導體后道制程光固化的技術換代方案。


產品中心 Products