一、產品概述
日本北野精機 KML-34 迷你 Z 軸直線導入機，是專為超高真空（UHV）環境設計的精密直線運動機構。它通過密封傳動結構，在不破壞腔室真空度的前提下，實現樣品臺或部件的 Z 軸方向升降與定位，廣泛應用于小型真空鍍膜設備、表面分析儀器等科研場景。
二、核心特點
? 迷你緊湊型設計，適配小型真空腔室體積小巧，占用腔室空間極小，采用標準真空法蘭接口，可直接安裝在各類小型真空設備上，適配鍍膜機、表面分析儀器的空間限制。
? 超高真空適配，低污染無出氣專為 UHV 環境優化，采用低出氣率材料與可靠密封結構，可在 10??Pa 級高真空條件下穩定工作，無雜質污染，保障實驗環境潔凈度。
? 精密直線運動，微米級定位精度采用精密機械傳動結構，可實現微米級的定位精度，滿足樣品臺高度微調、蒸發源距離控制等高精度實驗需求，提升薄膜沉積均勻性與實驗重復性。
? 波紋管 / 磁流體密封，真空性能可靠采用波紋管或磁流體密封結構，確保運動過程中腔室真空度不受影響，無泄漏風險，適配長期連續實驗運行。
? 易集成安裝，維護便捷標準真空法蘭接口設計，無需復雜改造即可集成到現有真空系統中，結構簡單可靠，維護成本低。
三、基礎參數
表格
| 項目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌 | 北野精機（Kitano Seiki，日本） |
| 型號 | KML-34 |
| 工作原理 | 密封傳動結構，外部驅動轉化為腔室內直線運動 |
| 適配環境 | 超高真空（UHV）環境 |
| 安裝方式 | 標準真空法蘭安裝 |
| 定位精度 | 微米級 |
| 結構特點 | 迷你緊湊型，低污染設計 |
四、日本北野精機 KML-34 迷你 Z 軸直線導入機 適用場景
真空鍍膜設備：樣品臺 Z 軸升降控制，實現蒸發源與樣品的距離微調，優化薄膜沉積均勻性。
表面科學儀器：掃描探針顯微鏡、俄歇電子能譜儀等設備的樣品臺精密定位，實現樣品高度的精準控制。
材料科學實驗：超高真空環境下的樣品加熱、冷卻裝置升降，適配原位實驗研究需求。
半導體工藝設備：小型真空設備中部件的精密直線驅動，滿足低污染、高精度的工藝要求。
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