一、核心性能與技術特點

1. 10??Pa 級超高真空防污染設計設備采用渦輪泵直上的 10??Pa 級超高真空管路系統，搭配最高 250℃的管路、閥門烘烤除氣功能，可清除管路內殘留雜質與吸附氣體，確保微量樣品不受污染，保障分析結果的準確性。
2. 多通道高精度樣品分配支持將微量樣品氣體分配至 5 個獨立分析系統，容積控制精度達 ±5%，可同時完成多組平行分析或不同維度的氣體檢測，大幅提升稀有樣品的實驗效率與數據可靠性。
3. PLC 智能電機閥門控制所有閥門采用電機驅動，通過 PLC 實現全流程自動化控制，可精準調節閥門扭矩、開關速度與開關順序，避免機械操作對微量樣品的干擾，適配珍貴樣品的精細化處理需求。
4. 高靈敏度氣體分析配置搭載 2 臺高精度四極桿質量分析計，可對極低濃度的氣體成分進行定性與定量分析，滿足深空探測、行星科學、地質痕量氣體檢測等領域的科研級檢測需求。

二、規格參數表

三、超高真空氣體采集與分析檢測裝置 典型應用場景

• 深空探測樣品分析：小行星、彗星、月球探測器帶回樣品的揮發性物質氣體分析；

• 稀有微量氣體檢測：地質樣品、環境樣品中的痕量氣體成分定性與定量分析；

• 超高真空實驗：需要無雜質污染環境的氣體實驗與材料表面分析；

• 精密科學研究：高校、科研機構的行星科學、化學分析實驗室。