阿里奧斯（ARIOS)株式會社 氦氣檢漏儀，是日本阿里奧斯公司為滿足真空裝置內部裝配需求開發的專業檢漏設備，專為氦質譜檢漏工藝優化，廣泛應用于真空腔體、管路系統的密封性檢測場景。
一、產品背景與設計特點
該設備為阿里奧斯公司自主開發的機型，替代了原有的手動檢漏設備，解決了傳統設備在復雜工況下難以維持真空度的問題。設備采用不銹鋼一體化機箱設計，結構堅固耐用，適配工業現場高頻次、多場景的檢測作業需求。
二、核心性能與功能優勢
- 靈活的手動控制設計配備專用閥門與調節機構，操作人員可通過手動開關閥維持檢測器內部真空度，無需額外大流量輔助泵，即可應對大泄漏量或排氣壓力較高的工況，避免檢測中斷。熟練操作人員可在條件不佳的現場環境中，快速鎖定泄漏位置，大幅提升檢測效率。
- 適配多種真空檢測場景支持真空腔體、管路接頭、密封件等多種部件的泄漏檢測，適用于半導體設備、科研真空裝置、工業低溫管路等場景的密封性驗證，確保設備裝配后的真空性能達標。
- 配套安全聯鎖閥門可搭配 ILV-01 型聯鎖閥使用，該閥門平時可作為手動閥操作，停電時自動關閉，無需壓縮空氣驅動，為實驗室排氣系統提供斷電安全防護，防止氣體回流或意外泄漏。
三、阿里奧斯（ARIOS)株式會社 氦氣檢漏儀 應用場景
工業真空設備制造：真空腔體、管路系統裝配過程中的泄漏檢測；
設備維護與檢修：對在用真空設備、低溫管路進行定期檢漏，排查密封隱患；
科研實驗場景：實驗室真空裝置、實驗設備的密封性驗證與故障排查。
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